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芯片由于其精密性能原因，對(duì)于外界的環(huán)境敏感程度比較高，如果有灰塵沾染就可能造成芯片的失效等情況，為了降低這種風(fēng)險(xiǎn)，需要把制造機(jī)器安置在基本上沒有任何微塵的無塵車間里。具體談?wù)劙雽?dǎo)體芯片制造無塵車間設(shè)計(jì)方案。

無塵車間采用孔狀框型地板，以便空氣能夠從天花板垂直流動(dòng)到制造和設(shè)備區(qū)的底部區(qū)域，當(dāng)氣流回送到無塵室時(shí)，將通過微?？諝膺^濾器除去氣流所帶的大部分微粒?？諝鈹_流會(huì)將墻壁、天花板、桌子和工具表面上的微粒帶入空氣中，而且使得微粒不容易靜止，但通過線性氣流后，空氣中的微粒就能很快被氣流帶走。因此楚翔將維持線性直線氣流、避免空氣擾動(dòng)作為該無塵車間的建設(shè)重點(diǎn)。

針對(duì)IC生產(chǎn)的工藝高要求，百級(jí)環(huán)境人凈與物凈設(shè)施需要嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)。

遵循人凈要求做動(dòng)線布局設(shè)計(jì):

入口-換鞋-更換外出服-洗浴-清潔走廊-二次洗浴-換潔凈服-風(fēng)淋室-潔凈生產(chǎn)區(qū)

遵循物凈要求做動(dòng)線布局設(shè)計(jì):

入口-原料庫-粗潔凈-傳遞窗-精潔凈-傳遞窗-潔凈生產(chǎn)區(qū)-傳遞窗-包裝-成品庫

除此之外在施工階段要嚴(yán)格注意各工段的防靜電區(qū)域，除了防靜電裝修，必要的工段設(shè)計(jì)師要布局專業(yè)的防靜電儀器，同時(shí)，消防和自控系統(tǒng)因地制宜。楚翔一般會(huì)將空氣凈化機(jī)房、超純水處理站設(shè)計(jì)于同一層,潔凈空氣、純凈水通過技術(shù)管道夾層送到潔凈生產(chǎn)區(qū)。可以有效地避免設(shè)備運(yùn)行時(shí)震動(dòng)產(chǎn)生灰塵,設(shè)備用房與主體廠房間結(jié)構(gòu)設(shè)縫斷開。